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光刻固化无氧干燥箱

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关键词: 定制真空干燥箱   HMDS   洁净烘箱   无尘烤箱  

摘要

应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,结合国外同类产品技术和我们长期从事烤箱的工作经验,而专门设计。

产品介绍

应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,结合国外同类产品技术和我们长期从事烤箱的工作经验,而专门设计。其主要特点如下:
  箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点。
  独特的送风、排风系统,确保炉箱温度均匀。
  吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。
 

 一、技术指标与基本配置:
  1.1 使用温度:RT~400℃,最高温度:450℃;

    1.2 单个炉膛有效尺寸:800×600×600mm(W×H×D);700*500*500

    1.3 炉膛腔数:2个,上下布置;

    1.4 炉膛材料:SUS321镜面不锈钢;加热元件:不锈钢加热器;热偶:


  1.5 空炉升温时间:1.5h;

    1.6 空炉降温时间:300℃-50℃降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器);

    1.7 温度和氧含量记录:进口无纸记录仪;

 

二、氧含量(配氧分析仪):
  2.1 高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;

    2.2 低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

    2.3 控温稳定度:±1℃;温度均匀度:±10℃(400℃平台);

 

三、事件输出:
  3.1 配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;

    3.2 控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;

    3.3 控温仪表:日本岛电FP93温控仪;

    3.4 控温段数:4×10段;控温点数:2点;

    3.5 超温报警点数:2点;检测点数:2点;

    3.6 报警保护:超温、断偶等声光报警保护;超温保护:独立感温式超温保护器;电机保护:电机过电流、水冷保护; 表面温升:<30℃;

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